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一体化的 Calotte 装载机

产品类别：半导体自动化生产设备

产品型号：

产品描述：

全自动系统，可以在晶圆盒和callotes之间传送晶圆    精确地放置，通过自动位置测量和自动化指导，实现卓越的操作精度和重复性    多功能性，分段扫描映射可以自动检测不同的分段类型和不同calotte类型    主机通知， 晶圆ID，晶圆盒 ID，段位ID以及段内位置    满足处理要求的最高可靠性    吞吐量最大化全速传输时240 wph    下料模式时为240 wph    上料模式为160wph    机电一体化元件和技术可以更大限度地提高晶圆的安全性。

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全自动系统，可以在晶圆盒和callotes之间传送晶圆

[敏感词]地放置，通过自动位置测量和自动化指导，实现卓越的操作精度和重复性

多功能性，分段扫描映射可以自动检测不同的分段类型和不同calotte类型

主机通知， 晶圆ID，晶圆盒 ID，段位ID以及段内位置

满足处理要求的[敏感词]可靠性

吞吐量[敏感词]化全速传输时240 wph

下料模式时为240 wph

上料模式为160wph

机电一体化元件和技术可以更大限度地提高晶圆的安全性。

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